В апреле этого года было бы два года с того момента, как компании Nikon, ASML и Carl Zeiss погрязли во взаимных судебных разбирательствах. К счастью для всех, этого больше не произойдёт. По крайней мере, до 2029 года. Почему? В среду Nikon, ASML и Carl Zeiss выпустили совместный пресс-релиз, в котором сообщили о намерении закрыть все незаконченные взаимные судебные споры уже в феврале.
Литографический сканер компании Nikon
Надо сказать, что компания Nikon своего добилась ― в рамках соглашения ASML и Carl Zeiss обязуются выплатить ей 150 млн евро. В дальнейшем все три компании будут платить друг другу отчисления с продаж оборудования для иммерсионной (с погружением в жидкость) полупроводниковой литографии в размере 0,8 % от продаж. Поскольку сегодня ASML удерживает свыше 93 % рынка литографических сканеров для иммерсионной литографии, компания Nikon фактически устраивается к ней на довольствие. Согласно договорённости, так будет продолжаться 10 лет.
Японцы заслужили подобное решение. Компания Nikon была пионером среди разработчиков оборудования для производства полупроводников и, в частности ― литографических степперов (в последствии сканеров). В середине 90-х она удерживала свыше 60 % рынка литографических степперов. После «нулевых» положение начало неуклонно меняться в сторону компании ASML. В 2001 году Nikon подала против ASML иск и в 2004 заключила с ней пятилетнее перекрёстное лицензионное соглашение с переходным периодом до 2014 года. После 2014 года ASML отказалась продлить соглашение и в апреле 2017 года Nikon снова подаёт на неё в суд (и на партнёра ASML ― компанию Carl Zeiss). Через неделю ASML и Carl Zeiss подают встречный иск, и процесс снова пошёл, пока сегодня не стало известно, что стороны достигли договорённости.
Первое поколение коммерческих сканеров ASML диапазона EUV
Компании прекращают суды в Европе, США и Японии, включая завершение слушаний в рамках расследования со стороны Международной торговой комиссии США. Что же, можно сказать, что в кои веки справедливость восторжествовала.
